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1 引言
2000年6月12日，在國家科技部的組織下，“96-748傳感器技術研究”國家重點科技攻關項目進行了項目驗收。與會專家聽取了項目實施組的“項目執(zhí)行自評估報告”后認為，“96-748傳感器技術研究”經(jīng)過3年攻關已經(jīng)圓滿地完成國家攻關項目規(guī)定的攻關目標、考核目標和研究內(nèi)容。本項目共計投入經(jīng)費6642．37萬元，國家撥款2500萬元。投入科技人員468人／年。通過3年的攻關，共計建成中試生產(chǎn)線12條，其中工程化課題建成中試生產(chǎn)線9條，新產(chǎn)品開發(fā)課題建成中試生產(chǎn)線3條，使18個品種75個規(guī)格的新產(chǎn)品形成一定規(guī)模的中試生產(chǎn)；通過新產(chǎn)品開發(fā)，開發(fā)了力敏、磁敏、溫度、濕氣敏的51個品種86個規(guī)格的新產(chǎn)品，90％的成果進行了批量或小批量生產(chǎn)并供應市場。傳感器的共性關鍵技術包括CAD技術、關鍵制造工藝、微機械加工技術、可靠性技術在生產(chǎn)中得到應用，攻關產(chǎn)品的成品率普遍提高10％以上，可靠性水平提高1-2個等級，建成傳感器實驗室、試驗基地5個；據(jù)不完全統(tǒng)計，攻關3年累計銷售各類傳感器1260多萬支，實現(xiàn)銷售收入14418多萬元，取得科研成果59項，總體水平達到國外九十年代中期的先進水平。獲得國家專利32項(其中獲得和受理發(fā)明專利11項)，在國內(nèi)外各類期刊上發(fā)表學術論文和研究報告244篇，進行技術轉(zhuǎn)讓6項，取得較好的成績。
“九五”傳感器科技攻關的指導思想是：一個目標是提高傳感器的技術水平、可靠性水平和產(chǎn)業(yè)化程度。二個轉(zhuǎn)變是向提高企業(yè)技術進步轉(zhuǎn)變，向提高市場占有率轉(zhuǎn)變。三個結(jié)合是共性關鍵技術與應用技術相結(jié)合，加快產(chǎn)業(yè)化進程；典型產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)品系列化相結(jié)合；滿足市場需要；科研開發(fā)與成果工程化相結(jié)合，實現(xiàn)適度規(guī)模生產(chǎn)。
通過攻關，在傳感器的關鍵制造工藝、新產(chǎn)品開發(fā)、科技成果的工程化等方面提高了我國傳感器的技術水平，促進了我國傳感器產(chǎn)業(yè)的形成，縮小了與世界先進水平的差距。
2 在技術上，取得一批具有自主知識產(chǎn)權的成果
通過攻關，在技術上有所創(chuàng)新，取得一批具有自主知識產(chǎn)權的科技成果，主要是：
(1)復旦大學發(fā)明的掩膜-
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