適用于無(wú)線射頻/微機(jī)電系統(tǒng)- R F /MEMS - 和生物技術(shù)應(yīng)用的先進(jìn)光敏玻璃

    國(guó)際技術(shù)集團(tuán)和特種玻璃專家肖特集團(tuán)近日推出經(jīng)過(guò)重大技術(shù)改進(jìn)的光敏玻璃產(chǎn)品FO TU RANTM I I，進(jìn)一步擴(kuò)大其薄玻璃和晶圓產(chǎn)品組合。該材料具有先進(jìn)的光敏性、均質(zhì)性。這些獨(dú)特的特性使無(wú)線射頻（R F）元件和微機(jī)電系統(tǒng)（MEM S）制造商可以為各種半導(dǎo)體和生物技術(shù)應(yīng)用生產(chǎn)出結(jié)構(gòu)更為精細(xì)的基板。美國(guó)西部光電展（S P I E P h o to n ic s Wes t）將于2 0 1 6 年2 月1 6 - 1 8 日在美國(guó)舊金山舉行，肖特將在展會(huì)上首次展出其創(chuàng)新晶圓產(chǎn)品FO TU RANTM I I。
    肖特集團(tuán)是光敏性玻璃領(lǐng)域的開拓者。過(guò)去30 年間，作為一種性能卓越的特種玻璃材料，該公司的FOTURANTM 玻璃產(chǎn)品一直廣為人知，并應(yīng)用于無(wú)需采用常規(guī)光阻劑基光刻的極度精細(xì)的結(jié)構(gòu)中。FOTURANTM 在微系統(tǒng)技術(shù)的不同應(yīng)用領(lǐng)域得到了測(cè)試和檢驗(yàn)，這些領(lǐng)域包括微系統(tǒng)技術(shù)，半導(dǎo)體，遠(yuǎn)程通信，射頻器件，微流體，微光學(xué)和MEMS 應(yīng)用
    FO TU RANTM I I 可提供更好的性能和更大的效益
    現(xiàn)在，肖特采用一種全新的生產(chǎn)工藝，生產(chǎn)出一種全新一代的改性玻璃晶圓產(chǎn)品FOTURANTM II。該生產(chǎn)工藝可確保很高的重現(xiàn)性，以及整個(gè)晶圓產(chǎn)品均一的光敏性和光學(xué)特性。

    肖特薄玻璃和晶圓產(chǎn)品戰(zhàn)略業(yè)務(wù)部負(fù)責(zé)人Fredrik Prince 表示：“這些獨(dú)特的特性使FOTURANTM II 晶圓產(chǎn)品成為無(wú)線射頻/微機(jī)電系統(tǒng)和生物技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)關(guān)鍵元件。借助該產(chǎn)品，我們的客戶可以生產(chǎn)出具有微米級(jí)別、前所未有的寬高比和更為精細(xì)微結(jié)構(gòu)的基板。”
    FOTURANTM II 晶圓的標(biāo)準(zhǔn)供應(yīng)尺寸包括直徑6 英寸或8 英寸的晶圓以及200X200 毫米方形基板，產(chǎn)品厚度則在0.5 毫米—1 毫米之間。這些晶圓和方形基板可以按照以下三個(gè)或四個(gè)步驟來(lái)進(jìn)行構(gòu)造和加工，即：紫外線曝光（采用無(wú)需使用光阻劑的標(biāo)準(zhǔn)光刻設(shè)備），熱處理，蝕刻和陶瓷化（可選，針對(duì)耐高溫領(lǐng)域的應(yīng)用）。用于構(gòu)造FOTURANTM II 晶圓的主要行業(yè)包括半導(dǎo)體、電信、微機(jī)電系統(tǒng)傳感器、無(wú)線射頻元件、微流體和微光學(xué)等行業(yè)。

肖特的光學(xué)敏感性FOTURANTM II 玻璃晶圓可按照以下三個(gè)或四個(gè)步驟構(gòu)造和加工，即：紫外線曝光，熱處理，蝕刻和陶瓷化

    在無(wú)線射頻（RF）應(yīng)用領(lǐng)域，結(jié)構(gòu)化的FOTURANTM II 基板可以使功率電感器在高頻設(shè)備中占據(jù)很小的占地面積、擁有高的品質(zhì)因子和高自諧振頻率（SRF）。另一方面，用于生物技術(shù)中的微流體即將成為諸多領(lǐng)域的主流支撐技術(shù)，這些領(lǐng)域包括醫(yī)療診斷、生命科學(xué)研究、藥物傳遞和合成等。
    FOTURANTM II 晶圓可用于生產(chǎn)可重復(fù)使用、易于清洗和光學(xué)透明的滴定板。此外，與硅傳感器所不同的是，F(xiàn)OTURANTM II 的可構(gòu)造性使小型熱質(zhì)的流量傳感器具有超快的響應(yīng)速度和優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性。最后，F(xiàn)OTURANTM II 晶圓還可用于半導(dǎo)體基板和采用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體設(shè)備的封裝工藝中。
    總之，肖特集團(tuán)是世界領(lǐng)先的由特種材料制成的薄玻璃和超薄玻璃晶圓及基板供應(yīng)商之一，而FOTURANTM II 晶圓則是肖特集團(tuán)獨(dú)特產(chǎn)品組合中的一個(gè)有力補(bǔ)充。