來源: 科技部網站
近日,北京市科委重點支持的高端裝備制造企業——北京京運通科技股份有限公司(以下簡稱京運通公司)通過自主研發,成功開發出國產6英寸區熔單晶爐設備,并突破國產設備的大尺寸區熔單晶制備工藝技術,采用國產設備連續成功拉制出了6英寸區熔單晶。區熔硅單晶較直拉硅單晶具有更高純度,是電力電子器件的關鍵材料,廣泛用于電力整流器、大功率晶閘管、功率集成電路等領域,市場前景巨大。
中國電子專用設備工業協會對京運通公司開發的區熔單晶硅爐設備進行了技術鑒定,專家認為,采用該國產設備實現6英寸區熔單晶硅棒連續成功拉制,填補了國內空白,打破了國外對5-6英寸區熔單晶生產設備的壟斷,為推進大尺寸區熔單晶設備產業化奠定了堅實基礎。