根據(jù)MOCVD控制系統(tǒng)的具體工藝要求，我們自主研發(fā)設(shè)計了基于PLC的MOCVD控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)采用上位機和可編程控制器實現(xiàn)整個系統(tǒng)的控制和管理，現(xiàn)場試驗運行表明該系統(tǒng)性能穩(wěn)定，響應(yīng)快速。

2 系統(tǒng)的組成及實現(xiàn)原理
    本系統(tǒng)主要由計算機、Siemens PLC S7-300（控制單元的核心），溫度控制系統(tǒng)、氣體處理系統(tǒng)、反應(yīng)室等組成。控制系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)見圖1所示。

2.1上位機
    選用工業(yè)控制計算機作為上位機,利用WINCC 工控組態(tài)軟件通過MPI 和PLC 進行通訊,從PLC 得到信息,同時向PLC 傳送命令，其負(fù)責(zé)對系統(tǒng)的監(jiān)控、數(shù)據(jù)記錄、報警記錄、數(shù)據(jù)分析，參數(shù)配置。

2.2 PLC
    選用PLC 作控制器,是因為其具有可靠性高、抗干擾能力強、硬件配套齊全、維護方便、適合于惡劣的工業(yè)應(yīng)用環(huán)境等特點。PLC作為系統(tǒng)的核心控制器，負(fù)責(zé)整個系統(tǒng)運行，包括各種信號的采集、數(shù)據(jù)的處理以及各種輸出信號的控制。輸入信號采集包括各類儀表傳感器的流量、壓力、報警信號等。輸出信號涉及電磁閥、接觸器、電動機、壓力控制器、流量控制器、RF感應(yīng)加熱器等控制量。

2.3 溫度控制系統(tǒng)
    溫控器、感應(yīng)加熱器、上位機、PLC組成了系統(tǒng)的溫度控制系統(tǒng)。這里的溫控系統(tǒng)是一個閉環(huán)控制系統(tǒng)，溫控器通過熱電偶實時地采集反應(yīng)室的溫度，由RS232串口反饋給上位機，經(jīng)過上位機的控制算法處理后，計算出合適的控制量，傳送給PLC，由PLC運行程序控制感應(yīng)加熱器來控制反應(yīng)室的溫度。

2.4 氣體處理系統(tǒng)
    氣體處理系統(tǒng)其硬件主要有經(jīng)過化學(xué)拋光的不銹鋼管道、氣體純化器、流量控制器、壓力控制器、電磁閥和氣動閥等組成。氣體控制系統(tǒng)的主要作用是通過控制壓力和流量控制器，調(diào)節(jié)氣路上各種閥門的開度，從而達到控制各種氣源配比的目的，并通過管道向反應(yīng)室輸送反應(yīng)劑，為保證反應(yīng)劑的純度，要求管道的密封性要很好。

    氣路上壓力與流量的控制均由壓力和流量控制器來完成。傳感器將采集來的實際測量值傳送給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)將采集的實際值，實時與設(shè)定值比較。如果用戶對控制效果不滿意，可以采用閉環(huán)回路控制，實時修改傳送的設(shè)定值。

3 系統(tǒng)軟件設(shè)計
    系統(tǒng)的控制主要指通過PLC對信號進行自動和手動的控制，從而實現(xiàn)對加熱系統(tǒng)、氣體流量和氣體壓力、氣動閥等的控制。我們設(shè)計的MOCVD控制系統(tǒng)有自動控制程序和手動控制程序兩種控制方式，自動和手動可以互相切換控制。其子程序主要包括步序控制，模擬量輸出控制，模擬量輸入控制，數(shù)字量輸出控制，數(shù)字量輸入控制。

3.1 步序控制
    在MOCVD控制系統(tǒng)中，根據(jù)不同的配方，所控制的步運行時間不同，所要求的循環(huán)位置都不同。本系統(tǒng)設(shè)計方案的一個設(shè)計難點，就是在編寫程序的時候，無法預(yù)先確知循環(huán)體的開始及停止位置，如何編寫一個可以供多種不同配方使用的程序。

    針對MOCVD 系統(tǒng)工藝的要求，結(jié)合本系統(tǒng)運行流程，采用順序控制設(shè)計法來控制不同步之間的動作和命令，執(zhí)行不同步序循環(huán)控制策略。該方法靈活、準(zhǔn)確地采用一個循環(huán)控制程序，根據(jù)不同配方，在不同循環(huán)位置，實現(xiàn)不同功能。其最基本的思想是將系統(tǒng)的工作周期劃分為50 個順序相連的階段，這些階段稱為步（Step），然后用編程元件（存儲器位M）來代表各步，每步設(shè)定運行開始標(biāo)志位和結(jié)束標(biāo)志位，進入循環(huán)標(biāo)志位和循環(huán)結(jié)束標(biāo)志位，步之間的轉(zhuǎn)換條件可以是外部中斷輸入“前跳”信號，或者是每步運行的定時器提供的信號。

    對于處理不確定的循環(huán)位置問題，在每步結(jié)束時,判斷該步循環(huán)結(jié)束標(biāo)志位是否為1，如果不為1，則直接跳到下一步運行，如果為1 再讀取剩余循環(huán)次數(shù)是否為0，如果為0 則跳到下一步運行，如果不為0 則剩余循環(huán)次數(shù)減1，跳到進入循環(huán)的步序運行。其算法流程如圖2 所示。

3.2 模擬量輸出控制
    模擬量輸出，主要包括8路壓力、20路流量以及溫度。在模擬量輸出中，防止沖擊是一項很重要的指標(biāo)。為了防止沖擊，輸出時采用爬行漸增的輸出控制策略，使模擬量的輸出在額定時間內(nèi)，準(zhǔn)時漸增到所需要的輸出值，每一次所遞增的量要盡量的小，以降低沖擊的可能性，保證生長的進行。

    基本思想：每步運行開始時，讀取步序號并調(diào)用該步的模擬量的目標(biāo)設(shè)定值（IN2），前級步結(jié)束的輸出值（IN1）及要爬升的步數(shù)（D），求出步進量S＝（IN2-IN1）/D,再判斷實際值和設(shè)定值的大小，決定實際值是加上或者減去步進量，然后再判斷實際值是否達到設(shè)定值，如果滿足則結(jié)束本步爬升。分兩種情況考慮，步進量為大于等于0或為負(fù)，如圖3所示為步進量S為大于等于0的程序算法流程圖。

    模擬量輸出程序主要采用語句表（STL）的編程方法，它是一種類似于匯編的語言，執(zhí)行速度高于梯形圖，占用內(nèi)存空間小，能夠解決復(fù)雜的循環(huán)及跳步。針對于本系統(tǒng)多模擬量，步序復(fù)雜且循環(huán)不定，而CPU內(nèi)存有限，此方案能很好的解決這個問題。

3.3 模擬量輸入控制
    MOCVD 控制系統(tǒng)有29 路模擬輸入量，如果全部用模擬量輸入模塊直接輸入，需要29 點的輸入。這樣設(shè)計成本較高，考慮到本系統(tǒng)對模擬量采集實時性要求不高，采用ADG408 譯碼選擇通道，分時輸入。每個ADG408 可以接入8 路模擬量信號，使用4 個模擬量通道，就可以輸入32 路模擬量，本方案中模擬量輸入子系統(tǒng)的成本可以大幅度降低。在系統(tǒng)實時性要求不高的情況下是一種較佳的選擇。

    模擬量輸入子程序采用多路分時選擇輸入方案，通過譯碼器在某一時刻選擇其中的一路作為輸出傳送到模擬量輸入模塊上的一個通道。ADG408 芯片譯碼選通和PLC 模擬輸入量讀數(shù)處理，在時序上應(yīng)該嚴(yán)格區(qū)分，避免讀數(shù)混亂。保證在譯碼選通和PLC 讀數(shù)的任何時刻，僅有一路模擬輸入量處于選通及輸入讀數(shù)狀態(tài)。如圖4 所示，8 路模擬量AI1—AI8,接入ADG408 中，編寫程序輸出數(shù)字量信號控制ADG408 的使能端EN,信號控制端A2、A1、A0，從而實現(xiàn)分時選擇多路模擬量中的一路，將其輸入到PLC 的模擬量輸入模塊中，數(shù)據(jù)進行相應(yīng)的存儲及處理。

3.4 數(shù)字量輸出控制
    數(shù)字?jǐn)?shù)出量的控制對象主要由電磁閥、接觸器、電機、氣動閥等。對于數(shù)字量輸出控制，其程序設(shè)計思想，在每步開始的時候，從相應(yīng)的數(shù)據(jù)區(qū)中，調(diào)用本步對應(yīng)數(shù)字量的數(shù)據(jù)，同時為了實現(xiàn)上位機實時控制的功能，首先判斷上位機監(jiān)控系統(tǒng)是否實時修改某個數(shù)字量的輸出值，如果上位機修改了， 則數(shù)字量的有效輸出值以上位機修改值為準(zhǔn)，否則按配方表的配方設(shè)定的進行輸出。

3.5 數(shù)字量輸入控制
    數(shù)字量輸入控制主要指系統(tǒng)的報警及故障處理程序，報警程序設(shè)計包括自動和手動。報警信號由傳感器檢測，傳送給PLC，程序根據(jù)報警信號做出相應(yīng)的安全保護動作，給出觸發(fā)信號使報警信號燈亮，蜂鳴器響，暫停系統(tǒng)運行，切斷感應(yīng)加熱器、或者關(guān)閉相應(yīng)的流量壓力控制器。

4 結(jié)論
    本文提出的控制系統(tǒng)應(yīng)用于西安電子科技大學(xué)第二代MOCVD系統(tǒng)，相對于第一代MOCVD控制系統(tǒng)，特別在步序子程序設(shè)計和模擬量輸出控制上有了很大的改進，在步序控制上采用順序控制設(shè)計法來控制不同步之間的動作和命令，相對于第一代移位控制方法[2>，步序控制法對于解決復(fù)雜循環(huán)的問題，更加靈活、可靠。在模擬量輸出控制上采用PLC語句表（STL）的編程方法，編寫模擬量漸進爬升子程序，解決了在第一代系統(tǒng)中，大量的模擬量輸出由上位機來計算處理再通過PLC進行控制，造成上位機負(fù)載過大，控制延遲，響應(yīng)速度較慢的問題。系統(tǒng)現(xiàn)場試驗運行表明，該控制系統(tǒng)穩(wěn)定、快速、安全，完全滿足工藝的要求，具有很高的應(yīng)用價值，同時本系統(tǒng)的研制成功將促進國內(nèi)微電子行業(yè)的發(fā)展，在國內(nèi)居于領(lǐng)先地位。

本文作者創(chuàng)新點:本文提出了一種基于PLC的MOCVD控制系統(tǒng)的設(shè)計及實現(xiàn)。特別是在軟件程序設(shè)計上運用了先進的控制思想，采用順序控制法解決了MOCVD系統(tǒng)中對于復(fù)雜步序的控制，在模擬量輸出控制上采用了PLC的語句表（STL）編程方法，來編寫模擬量漸進爬升子程序，其處理速度快于梯形圖，內(nèi)存占用少，解決了模擬量輸出防止沖擊的可能。本系統(tǒng)提出的控制方案，完全滿足了系統(tǒng)工藝的要求。