塑料薄膜，因?yàn)楸挥糜谟∷㈦娐钒澹≒CB）的生產(chǎn)，在計(jì)算機(jī)工業(yè)中受到高度重視。因此，有一家塑料薄膜制造商向日本MicroCraft公司提出了設(shè)計(jì)一套微疵檢查系統(tǒng)的要求，該系統(tǒng)要能發(fā)現(xiàn)并區(qū)分可能出現(xiàn)在塑料薄膜生產(chǎn)過(guò)程中的微米大小的瑕疵。

　　該制造商目前探測(cè)瑕疵的方法是通過(guò)一位操作人員對(duì)高射投影儀投射到墻上的圖像作出評(píng)估來(lái)實(shí)現(xiàn)的。該操作員要在膜片上圈出瑕疵，再將膜片放到附有膠片相機(jī)的顯微鏡下對(duì)其進(jìn)行拍攝，然后根據(jù)其他經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的照片來(lái)評(píng)估瑕疵區(qū)域的范圍大小，并把所有信息記錄在一份手寫日志里，接著，再把照片按瑕疵的類別保存到“相冊(cè)”里。整個(gè)流程十分費(fèi)時(shí)而且只能偶然為之，因?yàn)橐粋€(gè)人在其8小時(shí)的工作班次里，連10個(gè)樣本也不見(jiàn)得能完成。　　
　　

National Instruments公司的PXI IMAQ 1422板

　　顯示為亮點(diǎn)的瑕疵

　　MicroCraft修改了這家制造商原來(lái)的測(cè)試工序，布置了一個(gè)正交偏振光場(chǎng)，并引入了視覺(jué)和運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。這樣一來(lái)，材料里原本均衡的聚合物鏈一旦發(fā)生扭曲就會(huì)顯示為一個(gè)亮點(diǎn)，這就是瑕疵。操作員會(huì)在兩臺(tái)視野不同放大倍數(shù)不同的相機(jī)（分別為廣角×0.3倍和窄角×6.

4倍）的幫助下，分兩階段對(duì)瑕疵進(jìn)行分析。他先用大視野的廣角相機(jī)對(duì)膜片進(jìn)行初期檢查，找出瑕疵，然后用窄角相機(jī)對(duì)其進(jìn)行二次評(píng)估，包括拍攝圖像、計(jì)算尺寸并儲(chǔ)存結(jié)果。

　　首先，將一塊表面覆有偏光板的背光桌面放到2軸直線導(dǎo)軌系統(tǒng)上，以控制該制造商的8英寸直徑樣品的移動(dòng)和照明。所有的運(yùn)動(dòng)、圖像控制和數(shù)據(jù)采集是由一塊National Instruments公司的PXI-7324動(dòng)作板和兩塊PXI IMAQ板統(tǒng)一控制的。

　　在操作員把樣品正確定位后，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)掃描其16個(gè)2平方英寸的“象限”。操作員通過(guò)廣角相機(jī)來(lái)尋找瑕疵。在通過(guò)視覺(jué)分析虛擬工具（VI）確定一個(gè)疑似瑕疵的中心點(diǎn)后，PXI系統(tǒng)會(huì)繼續(xù)移動(dòng)桌面以保證每個(gè)可能的瑕疵都在高放大倍數(shù)的視野內(nèi)出現(xiàn)過(guò)。在此期間，系統(tǒng)會(huì)使用多個(gè)圖像分析VI來(lái)應(yīng)對(duì)常見(jiàn)的透鏡問(wèn)題，譬如枕形失真。同時(shí)，動(dòng)作分析VI則能通過(guò)計(jì)算，制定出能不差分毫地將瑕疵區(qū)域直接定位于窄角相機(jī)下的算法。

　　當(dāng)操作員將窄角相機(jī)移動(dòng)到受懷疑的區(qū)域時(shí)，一幅清晰的實(shí)時(shí)圖像就會(huì)出現(xiàn)。如果只是一粒灰塵，操作員可以立即刪除這個(gè)畫面，否則他就需要將該瑕疵歸類并對(duì)其范圍、長(zhǎng)、寬進(jìn)行精確的測(cè)量。窄角相機(jī)的分辨率由National Instruments公司的機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)Vision Builder實(shí)時(shí)計(jì)算所得，最高可達(dá)美國(guó)空軍標(biāo)準(zhǔn)的1.17微米/像素超高分辨率。在如此高精度的分辨率幫助下，系統(tǒng)完全可以實(shí)現(xiàn)制造商所提出的對(duì)10-100微米范圍內(nèi)的瑕疵進(jìn)行探測(cè)并確定其數(shù)量的要求。現(xiàn)在，每件樣品的檢查只需大約15分鐘就能完成一個(gè)操作員每班次能夠檢測(cè)多達(dá)30件樣品。